零件表面處理的方法很多，但由于電真空器件的特殊性，實用方法很少。它們大多來自經驗和理論基礎的不足。因此，即使是典型的清洗方法也需要不斷地修改和補充。

   
在各種清洗方法中，化學處理是主要的方法，如電解、電解拋光和電鍍等電氣處理，當通常的化學處理不能得到很好的預期效果或需要高度清潔的表面時，使用輔助處理方法。帶有非皂化油的金屬零件的高溫處理，金屬零件與非皂化油的接觸角沒有變化，表明高溫處理不能提高零件的表面清潔度，通過比較不同清洗方法的清洗效果，進行超聲波清洗。采用超聲波技術，將超聲波儀器加到脫油液中，加熱和超聲波的聯合作用不僅可以去除零件表面的油，而且可以去除其它雜質，特別是對于精密、復雜的零件。

       超聲波清洗的具體過程，根據配方的比例，在超聲波中加入金屬清洗液，超聲波頻率25 kHz，溫度40～60℃，超聲波10～30分鐘，取出零件，再用自來水和純水依次沖洗。將容器置于超聲波中，超聲波5～10分鐘，取出部分，依次用自來水和純水，用酒精脫水，最后吹入氮氣柜。

    

       當超聲波作用于清洗槽中的清洗液時，由于交變壓力的撕裂現象而產生真空氣泡，在負壓下迅速生長，并被壓力劑破壞，部分直接置于超聲波中。用金屬清洗劑。加熱可以增強液體的活化能力，降低粘度和表面張力和超聲空化的協同作用，使零件表面的油污染和雜質更容易去除。 5～10分鐘，可去除零件表面的金屬清洗液和油渣。