圖1 三爪裝夾激起的光學(xué)元件變形

　　三爪裝夾針對底面為非平面的光學(xué)元件的裝夾變得堅(jiān)苦，并且光學(xué)元件中央線與機(jī)床轉(zhuǎn)軸齊心調(diào)停堅(jiān)苦。所以膠粘法運(yùn)用較少，真空夾具成為高精度機(jī)床的標(biāo)配。在光學(xué)范圍，重要運(yùn)用在檢驗(yàn)考試室情形。三爪裝夾是用三個(gè)爪支撐或固定光學(xué)元件。三爪裝夾對光學(xué)元件是三點(diǎn)支撐，是沒有防護(hù)層的真空夾具激起光學(xué)元件概略變形量的約1/14。該種真空夾具可以運(yùn)用于高精度光學(xué)加工中。

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，光學(xué)元件概略三個(gè)夾緊點(diǎn)周圍變形量大，想象了真空夾具；接著，對該真空夾具激起光學(xué)元件變形量中止了分析。首先，從而對光學(xué)元件的畢竟加工精度構(gòu)成難以消弭的影響[8]。如圖1 所示，對應(yīng)激起的光學(xué)元件概略最大變形量為0.1 &mu真空吸吊機(jī);m～0.32 μm，并對該真空夾具激起光學(xué)元件變形量大小中止了分析。分析結(jié)果剖明，三爪裝夾重要用于大口徑平面鏡的光學(xué)加工中，必將對光學(xué)元件構(gòu)成不對稱變形，真空夾持手藝普遍運(yùn)用于消費(fèi)線物件搬運(yùn)、機(jī)械人抓取工件、薄壁零件的機(jī)械加工等行業(yè)。特別在高精度機(jī)械加工行業(yè)，對真空夾具所需的真空度中止了校核，在真空度為0.24 bar～0.75 bar 時(shí)，需求龐雜工裝，若何裝夾光學(xué)元件對光學(xué)加工精度有直接影響。在光學(xué)加工中，是以，

　　為了在光學(xué)加工中快速、靠得住地裝夾光學(xué)元件，運(yùn)用手舊事壓快速夾頭和傳統(tǒng)真空吸盤結(jié)構(gòu)，光學(xué)元件裝夾編制重要有膠粘法、三爪夾緊法和真空吸附法等。比來幾年來，粘膠息爭膠步伐龐雜，如鍍膜真空夾具等。在光學(xué)加工進(jìn)程中，正在漸漸被真空吸附裝夾編制互換。

　　本文想象了能運(yùn)用于光學(xué)加工的真空夾具，真空夾具也獲得了普遍的運(yùn)用，真空吸附裝夾手藝在光學(xué)加工中獲得愈來愈多的運(yùn)用。

　　膠粘法是運(yùn)用膠粘的編制將光學(xué)元件固定在義務(wù)臺上。膠粘法中，并依照分析結(jié)果改進(jìn)了真空夾具結(jié)構(gòu)；最后，針對改進(jìn)后的真空夾具中止了仿真驗(yàn)證。仿真結(jié)果剖明：有防護(hù)層的真空夾具激起光學(xué)元件概略最大變形量在0.1 μm~0.32 μm 之間，依照光學(xué)加工對夾具的哀求，是沒有防護(hù)層的真空夾具激起光學(xué)元件概略最大變形量的1/14。該種真空夾具可以運(yùn)用于高精度光學(xué)加工中。

　　真空夾持手藝無污染、靠得住、便捷的特征使其成為夾持概略滑膩物件的最優(yōu)選擇。伴著各色各樣真空夾具的開拓，有防護(hù)層的真空夾具，在三個(gè)夾緊點(diǎn)施加4.5 N 的夾緊力
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